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随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
吉澤亮
劉剛
麻品王
　　出入境办事窗口，同样人气高涨。“为方便大家出行，正月初六我们就专门开放了办证专场受理业务。”泉州市公安局丰泽分局出入境管理大队一级警员李思严介绍，为应对节后办证热潮，大厅通过增开窗口、加强引导、简化流程等方式提升效率，全体工作人员全力以赴，努力让群众少跑腿、好办事，平安顺利开启新一年的旅程。
　　回顾过去一年，丰泽区政务服务中心紧抓数字化机遇，在“高效办成一件事”“无证明省份”“数据最多采一次”改革中取得显著成效。全年办件量达16.7万件，职权范围内事项办件覆盖率100%；创新推出的政务大模型“小丰”压缩办事时间超70%；全省首创的“智慧小屋”实现语音交互办理；“一码通办”模式服务群众近四千人次，“丰泽经验”获各级媒体广泛报道。展望2026年，中心将持续深化智慧政务建设，重点推进窗口效能数字化监测、智能辅助审批系统升级、“智慧小屋”场景拓展、“无证明省份”深化应用、“数据最多采一次”扩面增效等工作，进一步构建更智能、更便捷、更有温度的政务服务体系。
春风送岗促就业真情相助暖民心
　　节后开工第一天，丰泽区2026年“春风行动”新春首场线下招聘会在泉州中心客运站广场火热开启。现场人来人往，求职者们手持简历，在企业展位间穿梭咨询，详细了解岗位要求、薪资待遇等信息。
　　得益于客运中心站节后密集的人流和便利的交通条件，这场开在“家门口”的招聘会，为返丰务工人员提供了“下车即求职”的便捷体验。刚抵达泉州的务工人员无需四处奔波，下车即可直达招聘现场，省去了辗转求职的周折。同时，周边县（市、区）的求职者听闻也前来应聘，寻找适合自己的好工作。
　　据悉，今年丰泽区新春招聘系列活动以“春风送岗促就业真情相助暖民心”为主题，将持续开展至3月底。活动期间，除了一系列线下专场招聘会，还将同步推出线上招聘、赴省外招工引才、直播带岗及政策宣传等多元化服务，精准对接企业用工引才与求职者就业需求，助力广大求职者在“家门口”实现就业。
企业研发“拉满弓” 奋力冲刺“开门红”
　　位于泉州数字经济产业园内的泉州力同科技有限公司，在复工第一天便迅速进入了高效运转状态。
　　“其实从我们春节放假开始，客户的订单就没停过。”公司副总经理薛白一早便召集了商务和生产部门的同事，紧锣密鼓地安排新一年的生产排期。他表示，即使在春节放假期间，他们仍坚守服务一线，实现客户咨询、订单承接“不断档”，产线在节后的排期早已预定得满满当当。
　　产线上，工人们精神饱满，娴熟地操作着全自动化设备，赶制新春的第一批交付产品；研发中心内，技术人员正聚精会神地进行着新一轮的调整与测试。薛白对今年的发展态势充满信心：“无论是数字类，还是模拟类的新建订单，表现都非常好，整体发展速度很快。”
　　作为一家深耕芯片领域的企业，力同科技不仅受益于大湾区作为全球对讲机产业核心地带的集群效应，也深切感受到了丰泽当地优质的营商环境和暖心的政策支持。正是这种上下一心、共谋发展的良好氛围，让企业对未来发展更有信心、更有底气。
　　“所以，今年我们仍是信心满满。”展望新一年的发展，薛白语气坚定地透露了一个令人振奋的目标，“2026年，我们预测整体的营业额会比去年有至少100%以上的增长。这是我们当前的坚定信心，也是对市场发展的预判。”开局即冲刺，力同科技正以“满格电”的状态，锚定倍增目标，奋力在丰泽这片热土上跑出高质量发展的“加速度”。
法务护航不断档用心服务暖人心
　　与力同科技的“硬核”生产不同，福建顺济律师事务所内则是一派专业而温暖的忙碌景象。会议室里，律师团队正围绕节后首个案件进行细致研讨；咨询台前，值班律师正耐心接待来访群众，为他们解答关于劳务纠纷、合同履行等方面的法律疑问，提供专业的法律建议。
　　福建顺济律师事务所成立于2010年，是泉州首家运用法律智能操作系统的专业律所，先后荣获福建省优秀律师事务所、福建省律师协会履行社会责任先进律师事务所、泉州市“AAAA”级诚信律师事务所。
　　“节后往往是企业和群众法律服务需求的高峰期，事务所于今日（正月初八）正式开工，为员工发放了开工红包，希望大家能迅速收心归位，以最专业的状态，为群众排忧解难，为企业发展保驾护航。”福建顺济律师事务所合伙人苏桂萍律师表示，“2026年，我们将继续发扬‘顺法意济天下’的理念，聚焦客户多元需求，着力提供更优质、更精细的法律服务，也希望我们所能不断开拓自身业务新蓝海，实现更高质量的发展。”
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丰泽：新春复工齐发力奋进开启新征程

内容简介:

最近关心

　　新华社北京4月30日电（记者王希）今年以来，中央企业把握宏观经济向好回升时机，转方式、调结构、提质量，一季度实现增加值2.5万亿元，固定资产投资同比增长10.4%，年化全员劳动生产率增长5.1%，研发投入持续增长，起步平稳、开局良好。
　　国务院国资委4月28日召开视频会议，通报一季度中央企业经济运行情况，研究部署下一阶段工作。这是此次会议释放的信息。
　　展望未来，国务院国资委明确，面对新形势新挑战，各中央企业要深入分析行业发展态势和面临的市场形势等，紧咬确定的业绩目标，推动各项提质增效稳增长举措落地见效；聚焦重点领域，努力扩大有效投资，加快推动“十四五”规划重大工程和项目落地，高标准实施与地方签署战略合作协议的重点项目，扩大前瞻性战略性产业投资，进一步强化投资管控，严防偏离主业实业、超越财务承受能力的投资。
　　同时，国务院国资委要求中央企业强化价值创造，持续提高经营创现能力，形成更多有利润的收入、有现金流的利润，加大降本增效、亏损治理力度，大力提升经营质量。
　　聚焦统筹发展和安全，国务院国资委强调，中央企业要严防严控债务风险，加强穿透监测，强化刚性约束，防范“超级股东”行为；有效防范化解金融业务风险，聚焦信托、财务公司、商业保理、基金等重点领域，扎实推进专项治理，严把金融业务入口关，加强金融衍生业务风险管控。
　　此次会议上，国务院国资委主任张玉卓代表国务院国资委与中央企业负责人签订了2024年度经营业绩责任书。
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中央企业首季开局良好实现增加值2.5万亿元
張昶 (東漢)
奎氏笛鯛
卜撒因
　　近日，航拍的“航通01”汽车滚装船停泊在合肥派河港码头，船上满载着江淮汽车，经由上海发向世界各地。
　　8月3日拍摄的奇瑞新能源iCAR工厂，一排排机械臂在进行自动焊接。
　　8月4日，长安汽车合肥公司总装车间生产线上，装配工人在熟练地安装零件、组装车辆。一辆辆汽车从这里驶下生产线，发往全国各地市场。
　　8月18日拍摄的位于合肥市肥西县的江淮汽车尊界超级工厂内的自动化焊接生产线。
　　8月15日拍摄的大众汽车（安徽）有限公司生产线。
　　7月24日，蔚来公司第80万台量产车在蔚来先进制造合肥一工厂正式下线，第80万台下线的量产车型为蔚来乐道L90。
　　8月14日，合肥比亚迪汽车有限公司发车场，即将出厂的汽车整齐排列。
　　今年上半年，安徽汽车产量达149.95万辆，其中，新能源汽车产量73.09万辆，双项指标领跑全国。这片智造热土已拥有乘用车、商用车、专用车等全系列生产能力，集聚奇瑞集团、蔚来汽车、大众安徽、合肥比亚迪、江汽集团、合肥长安、汉马科技7家整车企业，形成配套完善的全产业链。零部件层面，拥有规上零部件生产企业1100多家，“兵团式、阵地战”推进皖北专用车集聚发展、零部件转型升级、后市场提质增效，推动县域零部件产业做大做强做优。
　　更值得瞩目的是，安徽新能源汽车占比已达47.2%，接近“半壁江山”。在安徽的新能源汽车产业链中，涵盖了动力电池、电机电控、智能网联、轻量化材料、销售维保、回收利用等全产业链，“不出安徽就能造一台新能源整车”已然成为现实。
　　连日来，“45°瞰安徽”系列融媒体采访组走进整车企业，用镜头聚焦安徽的磅礴“汽”势。该系列融媒体采访活动由安徽日报报业集团与安徽江淮汽车集团股份有限公司联合举办。（记者范柏文张大岗摄）
编辑：刘晓东" alt="智造皖车 “汽”势如虹" style="width:120px;height:80px;">
智造皖车 “汽”势如虹
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